Beschreibung des Heliumspürverfahrens

Verschließen Sie alle Öffnungen des Prüfobjektes bis auf eine einzelne Öffnung, durch die das Objekt mit Helium befüllt werden kann.

Evakuieren Sie das Objekt mit einer Vakuumpumpe.

Befüllen Sie das innere Volumen des zu prüfenden Objektes mit Helium bis zu einem bestimmten Druck.

Untersuchen Sie das zu prüfende Objekt mit einem Heliumspürgerät, und überprüfen Sie so seine Dichtheit.

Evakuieren Sie das interne Heliumgas, und belüften Sie das Produkt. Vermeiden Sie, dass sich das Gas, das sich um die Prüfvorrichtung herum ansammelt, kontaminiert wird.

Trennen Sie Dichtungen und Anschlüsse.

Heliumspürgeräte werden oft in Massenspektrometer integriert und dienen bei der Prüfung von Produkten in einer Vakuumkammer zur Suche nach Leckstellen.